超純水存儲(chǔ)氮封裝置設(shè)計(jì)方案

本實(shí)用新型涉及一種凈水設(shè)備，特別是指超純水存儲(chǔ)裝置。在現(xiàn)有技術(shù)中，高純水均有絕緣的特點(diǎn)，常用于洗清半導(dǎo)體元器件。在使用中，純水箱中電阻率較低的純水經(jīng) EDI（連續(xù)電去離子裝置）轉(zhuǎn)化后形成高純水，并將高純水輸入存滿氮?dú)獾母呒兯馑溥M(jìn)行存儲(chǔ)，利用氮?dú)獾母艚^作用實(shí)現(xiàn)高純水與空氣、二氧化碳、雜質(zhì)隔離，確保高純水始終保持較高的電阻率。在生產(chǎn)超純水的過(guò)程中，為了避免外界雜質(zhì)、氣體進(jìn)入儲(chǔ)水罐，降低超純水水質(zhì)，需要在超純水罐中設(shè)置氮封。

而現(xiàn)有技術(shù)中的氮封水罐是由減壓閥和排氣水封構(gòu)成的。當(dāng)水罐中液位降低時(shí)，水罐中的氮?dú)鈮毫档?，氮?dú)馔ㄟ^(guò)減壓閥注入到水罐中，維持設(shè)定的氮?dú)鈮毫?；?dāng)水罐中液位上升時(shí)，氮?dú)獾膲毫ι仙?，氮?dú)馔ㄟ^(guò)排氣水封排出到空氣中。該氮封水罐存在的關(guān)鍵缺陷就是：根據(jù)后段超純水的使用量，超純水中的液位不斷變化，大量氮?dú)馀湃氲娇諝庵校獨(dú)庀牧看?，從而使得運(yùn)行費(fèi)用較高。供氮裝置，將設(shè)在罐頂?shù)娜狐c(diǎn)的介質(zhì)經(jīng)導(dǎo)壓管引入檢測(cè)機(jī)構(gòu)，介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與與彈簧、預(yù)緊力相平衡。

當(dāng)罐內(nèi)壓力降低至低于供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，平衡破壞，使指揮器閥芯，打開(kāi)，使閥前氣體經(jīng)減壓閥，節(jié)流閥、進(jìn)入主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)上、下膜室，打開(kāi)主閥閥芯，向罐內(nèi)充注氮?dú)?；?dāng)罐內(nèi)壓力升至供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)，由于預(yù)設(shè)彈簧力，關(guān)閉指揮器閥芯、由于主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)中的彈簧作用，關(guān)閉主閥，停止供氮。

超純水存儲(chǔ)氮封裝置設(shè)計(jì)方案

為了解決氮?dú)庀牧看蟮膯?wèn)題，一種智能型氮封水箱，公開(kāi)了一種智能型氮封水箱，它包括水箱、氮?dú)饽?、壓力傳感器、壓力氣源、進(jìn)氣電磁閥和排氣電磁閥；所述進(jìn)氣電磁閥的輸入端與所述壓力氣源連接，所述進(jìn)氣電磁閥的輸出端與用于連接所述水箱和所述氮?dú)饽业倪B接管道相連接；所述排氣電磁閥的輸入端與所述水箱連接，所述排氣電磁閥的輸出端連通外部大氣；所述壓力傳感器安裝在所述水箱上，并用于檢測(cè)所述水安裝在所述水箱上，并用于檢測(cè)所述水箱內(nèi)的壓力。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)水罐氮封，而氮?dú)獠粫?huì)因排放到空氣發(fā)生損失，只需定期往氣囊內(nèi)補(bǔ)充少許氮?dú)饧纯?，可大大降低氮?dú)獾南?，?jié)約運(yùn)行成本。
泄氮裝置，該裝置采用內(nèi)反饋結(jié)構(gòu)，介質(zhì)直接經(jīng)閥蓋進(jìn)入檢測(cè)機(jī)構(gòu)，介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與預(yù)設(shè)彈簧預(yù)緊力相平衡。
主要用于保持容量頂部保護(hù)氣(一般為氮?dú)?的壓力恒定，以避免容量?jī)?nèi)物料與空氣直接按觸，防止物料揮發(fā)、被氧化，以及容器的安全。特別適用于各類大型儲(chǔ)罐的氣封保護(hù)系統(tǒng)。該產(chǎn)品具有節(jié)能、動(dòng)作靈敏、運(yùn)行可靠、操作與維修方便等特點(diǎn)。氮封閥被廣泛應(yīng)用于石油、化工等行業(yè)。

超純水存儲(chǔ)氮封裝置設(shè)計(jì)方案特點(diǎn)

·無(wú)需外加能源，能在無(wú)電、無(wú)氣的場(chǎng)合工作，既方便，又節(jié)約能源，降低成本；
·氮封裝置供氮、泄氮壓力設(shè)定方便，可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行；
·壓力檢測(cè)膜片有效面積大，設(shè)定彈簧剛度小，動(dòng)作靈敏，裝置工作平穩(wěn)； 
·采用無(wú)填料設(shè)計(jì)，閥桿所受磨擦力小，反應(yīng)迅速，控制精度高；
·供氮裝置采用指揮器操作，減壓比可達(dá)100：1，減壓效果好，控制精度高；
·為確保儲(chǔ)罐的安全，需在罐頂設(shè)置呼吸閥；
·呼吸閥僅起安全作用，避免了常規(guī)氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。

超純水存儲(chǔ)氮封裝置設(shè)計(jì)方案
當(dāng)罐內(nèi)壓力升高至高于泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí)，平衡被破壞，使閥芯上移，打開(kāi)閥門，向外界泄放氮?dú)?；?dāng)罐內(nèi)壓力降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)，由于預(yù)設(shè)彈簧力作用，關(guān)閉閥門。
上述加裝氮?dú)饽液蟮牡馑潆m然能極大地減少氮?dú)獾南模撬泊嬖谝欢ǖ牟蛔阒?。由于氮?dú)饽抑苯颖┞队诳諝庵校环矫嫒菀妆煌馕锱鲎?，以致發(fā)生破裂的問(wèn)題（尤其是在氮?dú)饽遗蛎浀臅r(shí)候）；另一面，氮?dú)饽冶旧頃?huì)受外部空氣的溫度影響，出現(xiàn)熱脹冷縮的現(xiàn)象，這不僅不利于氮封水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Φ恼{(diào)控，而且對(duì)氮?dú)饽冶旧淼膲勖矔?huì)造成影響。